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BenchMark 250 主要技术参数 |
XY 精度:E2=(1.8+6L/1000)微米 (E2=(1.0+6L/1000)微米 需高分辨率光栅尺)
Z 精度:E1=(2.0+5L/1000)微米 (E1=(1.2+5L/1000)微米 TTL激光和5倍镜头)
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英制单位 |
公制单位 |
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测量范围 |
12" X6"X6" |
300150150毫米 |
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尺寸 |
28.3" X30.5"X38.3" |
720775X873毫米 |
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负载 |
25kg |
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台面分辨率 |
0.5um |
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光学 |
双重放大 (物镜) |
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低倍 |
0.8 |
1.0 |
2.5 |
5.0 |
10.0 |
25.0 |
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高倍 |
3.2 |
4.0 |
10.0 |
20.0 |
40.0 |
100.0 |
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标配镜头 |
1X |
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可选镜头 |
0.8X,2.5X,5X |
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照明 |
LED 背光,LED 同轴面光 |
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可选特征 |
多色可编程环形光 (PRL) |
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Ronchi 栅格自动聚焦 |
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TTL 激光 |
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旋转分度工作台 |
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BenchMark 250 Specifications 6 |
XY Area Accuracy:E2=(1.8+6L/1000)um (E2=(1.0+6L/1000)um repuire high resolution scale option)
Z Linear Accuracy:E1=(2.0+5L/1000)um (E1=(1.2+5L/1000)um with TTL laser and 5X lens)
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English Units |
Metric Units |
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Measuring Range |
12" X6"X6" |
300150150mm |
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Dimensions |
28.3" X30.5"X38.3" |
720775X873mm |
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Load Capacity |
25kg |
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Stage Resolution |
0.5um |
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OPtics |
Dual Magnification (Objective Lens X) |
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Low |
0.8 |
1.0 |
2.5 |
5.0 |
10.0 |
25.0 |
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High |
3.2 |
4.0 |
10.0 |
20.0 |
40.0 |
100.0 |
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Standard Objective Lens |
1X |
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Optional Objective Lenses |
0.8X,2.5X,5X |
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Illumination |
LED Backlight,LED Coaxial Surface light |
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Optional Features |
Multi-color Programable Ring Light (PRL) |
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Ronchi Grid Autofocus |
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TTL Laser |
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Rotary Index Table |
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BenchMark 250 是一款应用广泛的量测系统，拥有测量大模型所有尺寸的性能，行程300150150 mm。Benchmark可测产品范围大，可用于Q/A lab检测。
Benchmark 250 拥有高精度X-Y 工作台，view特有的双重光学放大性能，安装可选激光传感器使其成为一款更的测量系统。
Benchmark 250 非常适合测量多种类型的产品部件，包括注塑部件、机械部件、电子元件组装、半导体封装、光纤器件或150mm 以内的晶圆产品。